تحضير أغشية رقيقة من أوكسيد الألمنيوم ودراسة خصائصها الضوئية والبنيوية

Abstract

حضرت في هذا البحث أغشية رقيقة من الألمنيوم بطريقة الترديد الماغنتروني بالتيار المستمر (DC Magnetron) (Sputtering من هدف مصنوع من الألمنيوم بنقاوة (99.996) متبوعة بأكسدة حرارية في الهواء عند درجات حرارة مختلفة، ووضفت العينات المحضرة، ودرس تأثير درجة حرارة الأكسدة على خصائصها الضوئية والبنيوية، إذ لوحظ تناقص معدل عملية الأكسدة في العينة المحضرة عند درجة الحرارة 400 وذلك مقارنة بدرجات الحرارة الأقل انخفاضاً، أنا في حالة درجات الحرارة المنخفضة فقد لوحظ ازدياد معدل عملية الأكسدة مع ازدياد درجة الحرارة وكانت تحانات طبقة الأكسيد المتشكلة غير منتظمة، وبينت هذه الدراسة الحصول على بنى رباعية وثمانية السطوح من أكسيد الألمنيوم وتشكل هيدروكسيد الألمنيوم فضلاً عما سبق، فقد لوحظ تناقص خشونة السطح مع ارتفاع درجة الحرارة إذ شاقصت بنحو %80 عند الأكسدة لدرجة حرارة 500 وتضمنت الدراسة أيضاً نقصي تأثير الخصائص البنيوية والطبوغرافية المدروسة في طيف الانعكاسية وفي قساوة الأغشية المحضرة.